Fab1 클린룸 (초박막소재공정실)
반도체기술융합센터 Fab-I 內 초박막소재공정실은 인프라고도화사업으로 구축한 연구장비가 구축되어 있습니다. 고기능성 전자빔 리소그래피(Raith社 VOYAGER)를 비롯하여 TMDC 전사장비, TMDC CVD, 그래핀성장장비, TMDC 전용식각장비(ICP-RIE) 등 초박막형 나노소재 공정을 할 수 있는 환경을 조성했습니다.
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반도체기술융합센터, 포스텍
Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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