Ellipsometry
그룹별 이용수가 확인(상세정보)
| 모델명 | SE MG-1000 UV |
| 제조자 | NANO VIEW |
| 용도 | 빛의 굴절율을 이용한 박막 두께 측정 |
| 기본 depo. 막질 |
| 이용수가(원) / 1시간 기준 / 기본PR | |
| 기본(외부) | 35,000 |
| POSTECH(내부) | 31,500 |
| CSTC 참여연구실 | 24,500 |
| 장비기증 연구실 | 3,500 |
-이용료 부과기준: 회/매
- Postech 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 30% 할인, 장비기증연구실 90% 할인 적용
-1시간기준, 막질별 기본 recipe 제공, 재료비 별도 (100nm 기준)