모델명 | KK-011AS |
제조사 | 고려기연 |
용도 | 대기에 민감한 시편 및 재료 처리 |
이용수가(원) / 1시간 기준 / 기본PR | |
기본(외부) | 30,000 |
POSTECH(내부) | 27,000 |
CSTC 참여연구실 | 21,000~25,500 |
장비기증 연구실 | 3,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인
-1시간기준,
No. | Items | Description |
1 | Standard Process | 대기에 민감한 시편 및 재료 처리 |
2 | Type of Chamber | 380 X 500mm |
3 | Antechamber | 150 X 290mm |
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No. | Items | Description |
1 | Standard Process | 대기에 민감한 시편 및 재료 처리 |
2 | Type of Chamber | 380 X 500mm |
3 | Antechamber | 150 X 290mm |
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Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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