모델명 | Lucida D-200 |
제조자 | NCD |
용도 | 고압 열처리 (Dielectric 결함 제거 및 특성 향상) |
제공 Gas | H2, D2 |
이용수가(원) / 1시간 기준 / 기본PR | |
기본(외부) | 30,000 |
POSTECH(내부) | 27,000 |
CSTC 참여연구실 | 21,000~25,500 |
장비기증 연구실 | 3,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인
-1시간기준,
Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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