MLD (Molecule Layer Deposition)
그룹별 이용수가 확인(상세정보)
| 모델명 | MLD |
| 제조사 | 싸이엔텍 |
| 용도 | 고분자층 및 산화물 박박 증착 |
| Deposition 막질 | ZnO, Al2O3, AIDMP |
| 이용수가(원) / 100cycle 기준/기본 recipe 제공 | |
| 기본(외부) | 60,000 |
| POSTECH(내부) | 54,000 |
| CSTC 참여연구실 | 42,000 |
| 장비기증 연구실 | 6,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
- Postech 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 30% 할인, 장비기증연구실 90% 할인 적용
-100cycle 기준,