Sputter - I
그룹별 이용수가 확인(상세정보)
모델명Lucida D-200
제조사SNTEC
용도산화물 반도체 증착
기본 Targeta-IGZO, SiO2, SION


이용수가(원) / 100nm 기준
기본(외부)100,000
POSTECH(내부)90,000
CSTC 참여연구실70,000~85,000
장비기증 연구실10,000

-이용료 부과기준: 회/매

- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인 

-100nm 기준, 기본 recipe 제공, 재료비 별도

반도체기술융합센터, 포스텍

Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH

Tel. 054-279-5024 | Fax. 054-279-5029 | cstcdesk@postech.ac.kr
37673 경상북도 포항시 남구 지곡로 127번길 80, 첨단기술사업화센터 4층

Fab2 #410, 80 Jigok-ro 127beon-gil, Nam-gu, Pohang, Gyeongsangbukdo, Republic of Korea