Sputter - II
그룹별 이용수가 확인(상세정보)
| 모델명 | KVS-2000L |
| 제조사 | Korea Vacuum Tech |
| 용도 | Metal / Metal Oxide |
| 기본 Target | 6-inch PVD target |
| 이용수가(원) / 100nm 기준 | |
| 기본(외부) | 100,000 |
| POSTECH(내부) | 90,000 |
| CSTC 참여연구실 | 70,000 |
| 장비기증 연구실 | 10,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
- Postech 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 30% 할인, 장비기증연구실 90% 할인 적용
-100nm 기준, 기본 recipe 제공, 재료비 별도