모델명 | AH1700 |
제조사 | |
용도 | UV lamp를 이용한 시편의 Ozone처리 |
제공 Plate |
이용수가(원) / 1시간 기준 | |
기본(외부) | 10,000 |
POSTECH(내부) | 9,000 |
CSTC 참여연구실 | 7,000~8,500 |
장비기증 연구실 | 1,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인
-1시간기준,
No. | Items | Description |
1 | Standard Process | UV-Ozone 처리 |
2 | Wafer Size | up to 6-inch |
3 | 시료제한 | 없음 |
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No. | Items | Description |
1 | Standard Process | UV-Ozone 처리 |
2 | Wafer Size | up to 6-inch |
3 | 시료제한 | 없음 |
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Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
Tel. 054-279-5024 | Fax. 054-279-5029 | cstcdesk@postech.ac.kr
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