모델명 | VSF-150MD |
제조사 | RHABDOS |
용도 | PR 용액 도포 및 코팅 |
기본제공 PR | GXR 601 |
이용수가(원) / 1시간 기준 / 기본PR | |
기본(외부) | 20,000 |
POSTECH(내부) | 18,000 |
CSTC 참여연구실 | 14,000~17,000 |
장비기증 연구실 | 2,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인
-1시간기준, 기본제공 PR 외의 PR은 본인 구비
No. | Items | Description |
1 | Standard Process | PR 도포 및 코팅 |
2 | Wafer Size | up to 6inch |
3 | Speed Range | 30rpm ~6,000rpm |
4 | Run Time | 1.0sec ~ 6,000.0sec |
5 | Speed Accuracy | within ±0.5rpm |
6 | HMDS | 미제공 |
7 | RPM 별 두께 측정 내용 | 3000 RPM: 1335.9nm, 4000 RPM: 1087.5nm, 5000 RPM: 968.0nm |
8 | ||
9 | ||
10 |
스핀코터 장비 사용 중 PR의 과다사용이 지속되면 장비에 무리가 가게 되어 장비사용이 어렵게 될 수 있습니다.
장비를 사용할 시에는 장비 옆에 비치된 안내문을 꼭 읽으신 후 사용을 부탁드리겠습니다. 감사합니다.
No. | Items | Description |
1 | Standard Process | PR 도포 및 코팅 |
2 | Wafer Size | up to 6inch |
3 | Speed Range | 30rpm ~6,000rpm |
4 | Run Time | 1.0sec ~ 6,000.0sec |
5 | Speed Accuracy | within ±0.5rpm |
6 | HMDS | 미제공 |
7 | RPM 별 두께 측정 내용 | 3000 RPM: 1335.9nm, 4000 RPM: 1087.5nm, 5000 RPM: 968.0nm |
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10 |
스핀코터 장비 사용 중 PR의 과다사용이 지속되면 장비에 무리가 가게 되어 장비사용이 어렵게 될 수 있습니다.
장비를 사용할 시에는 장비 옆에 비치된 안내문을 꼭 읽으신 후 사용을 부탁드리겠습니다. 감사합니다.
Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
Tel. 054-279-5024 | Fax. 054-279-5029 | cstcdesk@postech.ac.kr
37673 경상북도 포항시 남구 지곡로 127번길 80, 첨단기술사업화센터 4층
Fab2 #410, 80 Jigok-ro 127beon-gil, Nam-gu, Pohang, Gyeongsangbukdo, Republic of Korea