ICP-RIE
그룹별 이용수가 확인(상세정보)
| 모델명 | KVET-I200L |
| 제조자 | Korea Vacuum Tech |
| 용도 | 플라즈마 방식의 건식식각 장비 |
| 사용가스 | N2, O2, Ar, CF4 |
| 이용수가(원) / 1시간 기준 / 기본 Gas | |
| 기본(외부) | 60,000 |
| POSTECH(내부) | 54,000 |
| CSTC 참여연구실 | 42,000 |
| 장비기증 연구실 | 6,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
-CSTC 참여연구실 30% 할인, 장비기증연구실 90% 할인 적용
-1시간기준