E-Beam & Thermal Evaporator-II
그룹별 이용수가 확인(상세정보)
모델명20KVS037
제조자Korea Vacuum Tech
용도금속 박막 증착
기본 depo. 막질Ti, Al, Pt, Cr, Pd, Ni 등 금속 증착 가능


이용수가(원) /100nm 기준 / 기본PR
기본(외부)100,000
POSTECH(내부)90,000
CSTC 참여연구실70,000~85,000
장비기증 연구실10,000

-이용료 부과기준: 회/매

- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인 

-100nm기준, 막질별 기본 recipe 제공, 재료비 별도 (100nm 기준)

반도체기술융합센터, 포스텍

Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH

Tel. 054-279-5024 | Fax. 054-279-5029 | cstcdesk@postech.ac.kr
37673 경상북도 포항시 남구 지곡로 127번길 80, 첨단기술사업화센터 4층

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