반도체기술융합센터는 100평 규모의 클린룸 시설을 통해 조각시편부터 최대 8인치 웨이퍼 공정까지 가능한 30종 이상의 반도체 집적 공정 장비와 50종 이상의 전기적 분석 시설을 기반으로 연구자들이 자유롭게 활용하여 창의적인 신기술을 개발하여 우수한 연구성과를 달성할 수 있도록 지원하고 있습니다.
CSTC 내 보유 중인 반도체 공정 장비 및 측정 장비 예약 및 이용절차를 안내드립니다.
아래 내용을 숙지하시어 원할하게 예약 및 이용하시기 바랍니다.
1. 장비 이용 신청
.홈페이지의 장비이용신청 페이지에 접속
.장비사용 예약 현황 캘린더를 확인하여 사용 가능 시간 확인
.장비사용예약 게시판에 양식에 맞춰 이용신청서 작성 및 신청 접수
.장비 사용료는 장비소개 page에서 확인 가능
2. 신청내역 확인
.장비사용예약 게시판에서 승인여부 확인 (답글 승인 or 반려)
.장비사용예약현황 캘린더에 신청내용 등록 확인
.승인되었으나 캘린더에 미등재 시 답글이나 담당자에게 연락 확인
3. 장비 이용
.이용 전에 클린룸 사전 안전교육 이수 후 출입 가능. (담당자와 협의)
.본 센터에서 기본으로 제공하는 재료 외에는 직접 가져와야 함. (사전확인 필수)
.입실 시 방진복, 방진화등 규정 복장 착용 후 입실
.장비 사용은 안전을 최우선 고려하여 진행
.장비 사용 완료 후 이전 상태로 장비를 복구 후 사용 종료
.장비 사용 시간을 LogBook 에 입력 필수 (스막룸 내 PC)
4. 장비 사용료 납입
.포항공대 내부/ 외부를 기준으로 연구비 정산 및 전자세금계산서 발행
.장비 사용료는 CSTC 클린룸 / 측정실 설비 소개 page에서 확인
CSTC 공용장비 사용에 궁금한 내용있으시면
담당자에게 연락주시기 바랍니다.
Tel: 054-279-5056
Email: ansckdqls05@postech.ac.kr