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CSTC 공용장비활용 시작하기

반도체기술융합센터는 2곳의 클린룸 시설을 운영하고 있습니다.

연구자들이 자유롭게 활용하여 창의적인 신기술을 개발하고 우수한 연구성과를 달성할 수 있도록 지원합니다.

[CSTC- fab1 클린룸 - 초박막소재공정실]

  • 위치: Fab1(NINT) 에어샤워 후 바로 왼편
  • 인프라고도화사업으로 구축한 대면적 초박막 신소재 연구장비


[CSTC - fab2 클린룸]

  • 위치: Fab2(첨단기술사업화센터) 101호
  • 조각시편부터 최대 8인치 웨이퍼 공정까지 가능한 반도체 집적 공정 장비

[측정실]

  • 위치: LG연구동 측정실
  • 전기적 분석시설

CSTC 내 보유 중인 반도체 공정 장비 및 측정 장비 예약 및 이용절차를 안내드립니다.

아래 내용을 숙지하시어 원할하게 예약 및 이용하시기 바랍니다.

클린룸은 안전교육 이수하신 후 출입가능합니다.

안전교육일정은 담당자와 협의하시기 바라며, 안전교육 후 본인확인정보를 등록합니다. 

  • CSTC-fab1 클린룸 : NINT 클린룸 안전교육 신청(바로가기↗)
  • CSTC-fab2 클린룸 : CSTC 클린룸 안전교육 신청(담당자에게 교육신청 이메일)

CSTC 공용장비는 다수의 연구자가 함께 사용하는 핵심 연구자산입니다. 

장비 사용하신 후, LogBook 로그북 입력은 필수입니다.

LogBook 로그북 입력은 "연구 재현성 + 장비 신뢰성 + 안전성 + 책임성"을 보장하는 최소한의 관리장치입니다.

Fab1 클린룸 (NINT클린룸-초박막소재공정실)


1. 장비 이용 신청

  • 초박막소재공정실은 인프라고도화 연구장비가 설치된 CSTC의 전용공간임
  • ZEUS(장비활용종합포털) 회원가입 필수!
  • ZEUS 클라우드 실시간 예약을 통해 장비 이용신청

 

2. 신청내역 확인

  • ZEUS 알림서비스를 통해 예약신청, 예약확정등 안내
  • ZEUS 캘린더에서 예약 현황 확인 가능함

 

3. 장비 이용

   ✔️클린룸 사전 안전교육 이수 필수!

  • 본 센터에서 기본으로 제공하는 재료 외에는 직접 가져와야 함.                  (사전확인 필수)
  • 입실 시 방진복, 방진화등 규정 복장 착용 후 입실
  • 장비 사용은 안전을 최우선 고려하여 진행
  • 장비 사용 완료 후 이전 상태로 장비를 복구 후 사용 종료
  • 장비 사용 시간을 LogBook 에 입력 필수


4. 장비 사용료 납입

  • 내부: 연구비 정산 / 외부: 전자세금계산서 발행
  • 장비 사용료는 각 장비별 상세페이지에서 확인 가능
Fab2 클린룸 (첨단기술사업화센터 101호)


1. 장비 이용 신청

  • 장비사용 예약 현황 캘린더(장비현황캘린더 보기↗)를 확인하여 사용 가능 시간 확인
  • 캘린더 하단에 있는 장비사용예약 게시판에 양식에 맞춰 이용신청서 작성 및 신청 접수
  • 장비 사용료는 장비소개 page에서 확인

 

2. 신청내역 확인

  • 장비사용예약 게시판에서 승인여부 확인 (답글 승인 or 반려)
  • 장비사용예약현황 캘린더에 신청내용 등록 확인
  • 승인되었으나 캘린더에 미등재 시 답글이나 담당자에게 연락 확인

 

3. 장비 이용

   ✔️클린룸 사전 안전교육 이수 필수!

  • 본 센터에서 기본으로 제공하는 재료 외에는 직접 가져와야 함.                 (사전확인 필수)
  • 입실 시 방진복, 방진화등 규정 복장 착용 후 입실
  • 장비 사용은 안전을 최우선 고려하여 진행
  • 장비 사용 완료 후 이전 상태로 장비를 복구 후 사용 종료
  • 장비 사용 시간을 LogBook 에 입력 필수


4. 장비 사용료 납입

  • 내부: 연구비 정산 / 외부: 전자세금계산서 발행
  • 장비 사용료는 각 장비별 상세페이지에서 확인 가능

클린룸 대표연락처 안내 (자세히보기↗️)


Tel: 010-9433-5056 (업무폰) / 054-279-5056

Email: gyh1019@postech.ac.kr / kmjkmj3352@postech.ac.kr


클린룸 안에서는 통화가 어려워 전화연결이 잘 안될 수 있습니다.

용건과 연락드릴 이메일주소를 남겨주시면 관련업무가 가능할 때 순차적으로 연락드리겠습니다.


[2023.10.23] 장비기증연구실과 기증장비 정보를 매칭하여 곧 업데이트하겠습니다. 


반도체기술융합센터, 포스텍

Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH

개인정보취급처리방침

Tel. 054-279-5024 | Fax. 054-279-5029 | cstcdesk@postech.ac.kr
37673 경상북도 포항시 남구 지곡로 127번길 80, 첨단기술사업화센터 4층

Fab2 #410, 80 Jigok-ro 127beon-gil, Nam-gu, Pohang, Gyeongsangbukdo, Republic of Korea