Projects
국책연구과제
Government funded R&D projects
"고기능성 나노스케일 초박막형 나노소재기반 신기술 집적 연구지원 플랫폼"
Infrastructure Advancement: Advanced R&D integration service platform for highly functional nm-scale thinfilm nanomaterials
- 사업명: 교육부, 기초과학연구역량강화사업
- 연구개발기간: 2024.06.01 - 2029.02.28
- 총사업비: 69억 7천7백만원
- 시설(센터명): 반도체기술융합센터
초박막 소재연구 인프라 구축을 목표로, 본 사업을 통해 총 9대의 신규장비 구축
➡ 초박막형 나노소재 제작 공정 flow와 CSTC 기구축장비와 비교하여 공백장비를 신규 구축
[신규투자 장비리스트 - 현재 2024.10.28]
공정 | 장비명 | 활용목적 | 웨이퍼구경 | 현황 |
소재 | TMDC CVD | 고성능 TMDC 소재성장 | 4", 6", 조각 | 구매진행 |
소재 | 대면적 그래핀 성장 | 45cm roll-to-roll 그래핀 성장 | 4", 6", 조각 | 구매진행 |
전사 | 대면적 TMDC 전사장비 | 대면적 2차원소재 전사 | 4", 6", 조각 | 구매진행 |
전사 | TMDC 기판 전용세정/ 습식식각장비 | 대구경 TMDC 웨이퍼 전사 및 세정, 강산식각공정 | 4", 6", 조각 | 구매진행 |
노광 | E-beam Lithography | 100nm 이하 미세패턴 소자 제작 | 4", 6", 조각 | 구매진행 |
식각 | ICP-RIE (TMDC 전용식각) | Metal 및 TMDC 식각 | 구매진행 | |
식각 | Asher | Graphene Etching용 전용장비 | 구매진행 | |
박막 | PECVD | SiO2, Nitride, 초박막소자 전용 Passivation | 구매진행 | |
분석 | 온도가변형 Hall 저항분석장비 | 이차원박막소재분석 | 4", 6", 조각 | 구매진행 |
*현황 flow: 도입심의진행 -> 도입심의완료 -> 구매진행 -> 장비입고 및 세팅 -> 공용활용
✅ 주요 활용 계획
기존 기술, 연구 한계 | ➡ | 신규 장비 구축 | ➡ | 장비 활용 주요 연구 |
초박막 신소재 제작, 활용 연구시설 불충분 -> 기존 나노인프라 시설은 화합물 반도체 등 타 소재 관련 공정/연구과의 상호오염문제 공존 | 초미세 집적회로 제작을 위한 미세소자 제작전용 전자빔 장비, 초박막 공정, 그래핀, MoS2 6인치 웨이퍼 제작장비 등 추가 구축 | 대면적 초박막 신소재 기초원천연구/응용연구 수행 대면적 신소재를 활용한 단위소자, 집적소자, 응용회로 등 차세대 반도체, 광소자, 각종센서 등 연구 가능 |
✅ 기대효과
- 대면적 이차원소재 웨이퍼 제작, 대면적 그래핀 웨이퍼 제작 및 활용, 고성능/ 대면적 극박막반도체 공정등 개별연구실에서 수행하기 어려운 집적도 높은 연구 수행 지원 가능
- 기구축 장비들과 연계하여 이차원, 초박막 소재연구에 특화된 특수장비 등을 공유할 수 있는 환경을 제공하여 응용단계 연구까지 이어지는 실용적 연구수행 및 개발기간 대폭 단축 가능
인력양성과제
Educational projects
"반도체인프라활용현장인력양성"
On-site engineer training using semiconductor infrastructure based on industrial demand
- 사업명: 산업부, 반도체인프라활용현장인력양성
- 연구개발기간: 2022.07.01 - 2027.06.30
- 참여형태: 공동
- 사업비: [1연차]-2.8억, [2연차]-3.6억, [3연차]-4.7억
인력양성과제
Educational projects
"경북 반도체 초격차 인재양성을 위한 기업특화형 전문인력 및 R&D인력지원"
- 사업명: 경북도, 경북 반도체 초격차 전문인력 양성사업
- 연구개발기간: 2024.04.01 - 2024.12.31