Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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안녕하십니까, 카이스트 조병진 교수님 연구실 김희태 학생입니다.
상기 장비로 a-IGZO 10 nm 증착 공정 의뢰 드립니다.
Sample size는 6-inch bare wafer (Thermal SiO2 300 nm) 1매 및 1cm*1cm piece wafer (CMOS wafer) 5 매 입니다.
공정 의뢰가 가능한지 답변 주시면 감사 드리겠습니다.
샘플 stack 및 wafer에 대해 문의 사항이 있으시면 010-5732-7038로 전화 주시면 감사 드리겠습니다.
감사합니다.
김희태 올림.