김희****
2025-01-14
조회수 15


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사용자명(또는 회사명)
한국과학기술원 (KAIST)
이메일10023u@kaist.ac.kr
신청일자
2025.01.14
사용시간
16:00-17:00 (a-IGZO)
사용장비
Sputter-1
Operation 의뢰 여부공정 의뢰



안녕하십니까, 카이스트 조병진 교수님 연구실 김희태 학생입니다.

상기 장비로 a-IGZO 10 nm 증착 공정 의뢰 드립니다.

Sample size는 6-inch wafer (Thermal SiO2 300 nm) 1매  및 1cm*1cm piece wafer (CMOS wafer) 18 매 입니다.

샘플 표면은 각각 Acetone, Methanol로 cleaning 완료되었으며 잔여 residue 및 PR는 존재하지 않습니다.

공정 의뢰가 가능한지 답변 주시면 감사 드리겠습니다.

샘플 stack 및 wafer에 대해 문의 사항이 있으시면 010-5732-7038로 전화 주시면 감사 드리겠습니다.

감사합니다.


김희태 올림.


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