Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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Si/SiO2(300nm) 웨이퍼 위에 텅스텐을 5nm, 10nm, 20nm로 6인치 웨이퍼 3장을 증착하려고 합니다.
혹시 걸리는 시간이 더 오래 걸릴까요??
감사합니다
고성민 드림