고성****
2025-03-21
조회수 11


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사용자명(또는 회사명)
포항공과대학교 송재용교수님 연구실
이메일qmffn4444@postech.ac.kr
신청일자
2025.03.25 (화요일)
사용시간
10:00~13:00
사용장비
Sputter-2
Operation 의뢰 여부O(교육 후 테스트)


Sputter 2 장비 교육은 이수하였고, 테스트를 받으려고 합니다.

추가로 공정할 물질은 Si/SiO2(300nm) 웨이퍼 위에 W을 5nm, 10nm, 20nm 증착을 해보려고 합니다.

이 3개의 공정에 필요한 시간을 정확히는 모르겠어 3시간 예약을 신청 하였는데, 더 필요하거나 덜 걸린다면 시간도 조정하겠습니다.


감사합니다

고성민 드림

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