[사용신청]E-Beam & Thermal Evaporator-II, Plasma Treatment 이용 신청

이상****
2024-07-09
조회수 204


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사용자명(또는 회사명)
이상엽
이메일sylee7361@postech.ac.kr
신청일자
2024.07.11
사용시간
10:00 - 12:00 (시간은 24시 표기)
사용장비
-Beam & Thermal Evaporator-II, Plasma Treatment
Operation 의뢰 여부장비 교육 요청드립니다.

4인치 웨이퍼 2장에 Cr/Au 10/100 nm 증착 예정입니다.

증착 전에 plasma treatment로 표면 클리닝 진행하고자 합니다.

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