Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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WOx과 W를 차례로 증착하려고 합니다. 각각의 (증착전) 포토리소 및 (증착후) 리프트오프 과정을 해올 예정이라 사용시간을 2개로 분리하였습니다.
(혹시 WOx 의 경우, 공정 조건에 따른 물질의 conductance level을 알 수 있을까요? CSTC sputter 장비는 처음 사용해봐서 문의 드립니다.)
*비밀글 설정은 상단 오른쪽 자물쇠표시