Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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안녕하십니까, 카이스트 조병진 교수님 연구실 김희태 학생입니다.
상기 장비로 a-IGZO 10 nm 증착 공정 의뢰 드립니다.
Sample size는 8-inch bare wafer 1/4 (Thermal SiO2 300 nm) 1매 및 1cm*1cm piece wafer (CMOS wafer) 20 매 입니다.
(duumy용 6-inch wafer에 모두 부착해 놓은 상태입니다)
공정 의뢰가 가능한지 답변 주시면 감사 드리겠습니다.
샘플 stack 및 wafer에 대해 문의 사항이 있으시면 010-5732-7038로 전화 주시면 감사 드리겠습니다.
추가로, 지난번에 공정 의뢰 드렸던 건에 대해 비용 처리 절차에 대해서 말씀해 주시면 감사 드리겠습니다.
김희태 올림.