[사용신청]a-IGZO sputter 증착 의뢰 (10 nm)

김희****
2024-11-18
조회수 86


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사용자명(또는 회사명)
김희태 (KAIST)
이메일10023u@kaist.ac.kr
신청일자
2024.11.18
사용시간
hh:mm - hh:mm (시간은 24시 표기)
사용장비
Sputter
Operation 의뢰 여부공정 의뢰


안녕하십니까, 카이스트 조병진 교수님 연구실 김희태 학생입니다.

상기 장비로 a-IGZO 10 nm 증착 공정 의뢰 드립니다.

Sample size는 8-inch bare wafer 1/4 (Thermal SiO2 300 nm) 1매  및 1cm*1cm piece wafer (CMOS wafer) 20 매 입니다.


(duumy용 6-inch wafer에 모두 부착해 놓은 상태입니다)


공정 의뢰가 가능한지 답변 주시면 감사 드리겠습니다.

샘플 stack 및 wafer에 대해 문의 사항이 있으시면 010-5732-7038로 전화 주시면 감사 드리겠습니다.


추가로, 지난번에 공정 의뢰 드렸던 건에 대해 비용 처리 절차에 대해서 말씀해 주시면 감사 드리겠습니다.




김희태 올림. 

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