인프라고도화 연구성과 표기 기준 안내

인프라고도화사업으로 신규도입한 장비를 활용하여 연구성과가 발생한 경우, 아래와 같이 논문 성과 표기방법을 안내드립니다.

논문게재료의 일부를 지원하고 있으니, 관련 안내가 필요한 연구실에서는 아래 담당자에게 연락주시기 바랍니다.

📌  담당자: 박미혜 cstcdesk@postech.ac.kr, 054-279-5024 

논문 사사의 경우

[과제번호] RS-2024-00434439

[과제명] 인프라고도화: 고기능성 나노스케일 초박막형 나노소재기반 신기술 집적 연구지원 플랫폼

국문 (예시)
영문 (예시)
본 연구는 2024년도 교육부의 재원으로 한국기초과학지원연구원 국가연구시설장비진흥센터의 지원을 받아 수행된 연구임(RS-2024-00434439)
This research was supported by Korea Basic Science Institute(National research Facilities and Equipment Center) grant funded by the Ministry of Education (RS-2024-00434439)

장비 활용의 경

[논문 본문 기입] 실험방법에 해당 시설명, 사용한 장비명 및 시설장비등록번호(NFEC-0000-00-000000)를 모두 기입

국문영문 (예시)
  • 국문장비명 / NFEC 시설장비등록번호: 하단 참조
  • 시설명: 포항공대 반도체기술융합센터
[영문장비명], POSTECH Center for Semiconductor Technology Convergence supported by Korea Basic Science Institute, [NFEC 등록번호]

[NFEC 시설장비등록번호] 장비명 및 시설등록번호


국문 장비명
장비명 약어
영문 장비명
NFEC 시설장비등록번호
1
고성능 전자빔 리소그래피 시스템
EBL
High performance electron beam lithography
NFEC-2025-03-304835
2
온도 가변형 Hall효과 측정 장비
HEMS
Hall effect measurement system
NFEC-2025-01-302395
3
TMDC 기판 전용 세정/ 습식식각 장비
Wet Station
TMDC Wet station
NFEC-2025-02-304149
4
Graphene O2 Plasma Etching 공정장비
Asher
Graphene O2 plasma etching system
NFEC-2025-03-304442
5
저온 플라즈마 기반 보조층 박막 증착장비
PE-CVD
Plasma enhanced chemical vapor deposition
NFEC-2025-05-306172
6
전이금속 디칼코겐화물 전용 식각 장비
ICP-RIE
Etching system for TMDC
NFEC-2025-05-306208
7
2차원 전이금속 칼코겐화합물 성장을 위한 8인치용 유기화학기상증착기
TMDC CVD
8 inch MOCVD system for 2D TMDC growth
NFEC-2025-05-306214
8
대면적 그래핀 성장 장비
-
Large graphene growth system
NFEC-2025-05-306215
9
대면적 TMDC 전사 장비
-
Large scale TMDC transfer system
NFEC-2025-05-306219


반도체기술융합센터, 포스텍

Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH

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