Wet Station
그룹별 이용수가 확인(상세정보)
| 모델명 | Wet Station |
| 제조사 | 두리텍 |
| 용도 | Acid, Organic 등 Wet 공정 |
| 제공 Chemical | overflow Di, SC1, SC2, HF등 |
| 이용수가(원) / 1시간 기준 | |
| 기본(외부) | 50,000 |
| POSTECH(내부) | 45,000 |
| CSTC 참여연구실 | 35,000~42,500 |
| 장비기증 연구실 | 5,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인
-1시간기준,
No. | Items | Description |
| 1 | Standard Process | SC1, SC2, HF (SC1, SC2 등 사용자가 직접 시약 제작) |
| 2 | Wafer Size | up to 6-inch |
| 3 | 제공 Chemical | 아세톤, 메탄올, IPA, 과산화수소수, 암모니아수, 불산, 황산, Ni Etchant, BOE |
| 4 | ||
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| 6 | ||
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No. | Items | Description |
| 1 | Standard Process | SC1, SC2, HF (SC1, SC2 등 사용자가 직접 시약 제작) |
| 2 | Wafer Size | up to 6-inch |
| 3 | 제공 Chemical | 아세톤, 메탄올, IPA, 과산화수소수, 암모니아수, 불산, 황산, Ni Etchant, BOE |
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