Spin Coater
그룹별 이용수가 확인(상세정보)
| 모델명 | VSF-150MD |
| 제조사 | RHABDOS |
| 용도 | PR 용액 도포 및 코팅 |
| 기본제공 PR | GXR 601 |
| 이용수가(원) / 1시간 기준 / 기본PR | |
| 기본(외부) | 20,000 |
| POSTECH(내부) | 18,000 |
| CSTC 참여연구실 | 14,000~17,000 |
| 장비기증 연구실 | 2,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인
-1시간기준, 기본제공 PR 외의 PR은 본인 구비
No. | Items | Description |
| 1 | Standard Process | PR 도포 및 코팅 |
| 2 | Wafer Size | up to 6inch |
| 3 | Speed Range | 30rpm ~6,000rpm |
| 4 | Run Time | 1.0sec ~ 6,000.0sec |
| 5 | Speed Accuracy | within ±0.5rpm |
| 6 | HMDS | 미제공 |
| 7 | RPM 별 두께 측정 내용 | 3000 RPM: 1335.9nm, 4000 RPM: 1087.5nm, 5000 RPM: 968.0nm |
| 8 | ||
| 9 | ||
| 10 |
스핀코터 장비 사용 중 PR의 과다사용이 지속되면 장비에 무리가 가게 되어 장비사용이 어렵게 될 수 있습니다.
장비를 사용할 시에는 장비 옆에 비치된 안내문을 꼭 읽으신 후 사용을 부탁드리겠습니다. 감사합니다.
No. | Items | Description |
| 1 | Standard Process | PR 도포 및 코팅 |
| 2 | Wafer Size | up to 6inch |
| 3 | Speed Range | 30rpm ~6,000rpm |
| 4 | Run Time | 1.0sec ~ 6,000.0sec |
| 5 | Speed Accuracy | within ±0.5rpm |
| 6 | HMDS | 미제공 |
| 7 | RPM 별 두께 측정 내용 | 3000 RPM: 1335.9nm, 4000 RPM: 1087.5nm, 5000 RPM: 968.0nm |
| 8 | ||
| 9 | ||
| 10 |
스핀코터 장비 사용 중 PR의 과다사용이 지속되면 장비에 무리가 가게 되어 장비사용이 어렵게 될 수 있습니다.
장비를 사용할 시에는 장비 옆에 비치된 안내문을 꼭 읽으신 후 사용을 부탁드리겠습니다. 감사합니다.
