| 모델명 | SAMDRI-PVT-3D |
| 제조사 | tousimis |
| 용도 | 초임계 건조 |
| 이용수가(원) / 1 시간 기준 | |
| 기본(외부) | 15,000 |
| POSTECH(내부) | 13,000 |
| CSTC 참여연구실 | 10,500 ~ 12,700 |
| 장비기증 연구실 | 1,500 |
-이용료 부과기준: 회/매
- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인
No. | Items | Description |
| 1 | 공정 가스 | CO2 |
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반도체기술융합센터, 포스텍
Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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