| 모델명 | PERI - 200 |
| 제조사 | 울텍 |
| 용도 | Metal 및 TMDC 식각 |
| 이용수가(원) / 1매 기준 | |
| ZEUS 클라우드 실시간 예약으로만 장비예약 가능 | |
| 기본(외부) | 100,000 원 |
| POSTECH(내부) 직접 | 90,000 원 |
| 인프라고도화 참여연구실 | 70,000~85,000 원 |
| 의뢰서비스 | 140,000 원 |
| 기증연구실 | 10,000원 |
-이용료 부과기준: 회/매
- 본 장비는 인프라고도화사업으로 구축한 장비입니다. 인프라고도화사업의 장비활용실적 증빙을 위해, ZEUS 클라우드 실시간예약으로만 장비예약이 가능합니다.
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반도체기술융합센터, 포스텍
Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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