ICP-RIE
그룹별 이용수가 확인(상세정보)
모델명PERI - 200
제조사울텍
용도Metal 및 TMDC 식각


이용수가(원) / 1매 기준
ZEUS 클라우드 실시간 예약으로만 장비예약 가능
기본(외부)100,000 원
POSTECH(내부) 직접90,000 원
인프라고도화 참여연구실70,000~85,000 원
의뢰서비스140,000 원
기증연구실 10,000원 

-이용료 부과기준: 회/매

- 본 장비는 인프라고도화사업으로 구축한 장비입니다. 인프라고도화사업의 장비활용실적 증빙을 위해, ZEUS 클라우드 실시간예약으로만 장비예약이 가능합니다.

반도체기술융합센터, 포스텍

Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH

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