Wet Station
그룹별 이용수가 확인(상세정보)
| 모델명 | ACID MANUAL WETSTATION |
| 제조사 | TSS Korea |
| 용도 | 대구경 TMDC 웨이퍼 전사 및 세정, 강산식각공정 |
| 이용수가(원) / 1-bath 기준(Spin dryer 사용료 포함) | |
| ZEUS 클라우드 실시간 예약으로만 장비예약 가능 | |
| 기본(외부) | 80,000 |
| POSTECH(내부) 직접 | 50,000 |
| 인프라고도화 참여연구실 | 35,000 |
| 의뢰서비스 | 100,000 |
- 재료비 별도 하단 참고
- 본 장비는 인프라고도화사업으로 구축한 장비입니다. 인프라고도화사업의 장비활용실적 증빙을 위해, ZEUS 클라우드 실시간예약으로만 장비예약이 가능합니다.
No. | Items | Description |
| 1 | Standard Process | SC-1.DHF,SPM(Auto), SC-2(Manaul) |
| 2 | Wafer Size | 4, 6, 8, inch |
| 3 | [재료비] SC-1 | 4inch - 30,000 6inch - 42,000 8inch - 49,000 |
| 4 | [재료비] SC-2 | 4inch - 30,000 6inch - 42,000 8inch - 49,000 |
| 5 | [재료비] SPM | 4inch - 60,000 6inch - 81,000 8inch - 98,000 |
| 6 | [재료비] DHF | 4inch - 18,000 6inch - 25,000 8inch - 30,000 |
No. | Items | Description |
| 1 | Standard Process | SC-1.DHF,SPM(Auto), SC-2(Manaul) |
| 2 | Wafer Size | 4, 6, 8, inch |
| 3 | [재료비] SC-1 | 4inch - 30,000 6inch - 42,000 8inch - 49,000 |
| 4 | [재료비] SC-2 | 4inch - 30,000 6inch - 42,000 8inch - 49,000 |
| 5 | [재료비] SPM | 4inch - 60,000 6inch - 81,000 8inch - 98,000 |
| 6 | [재료비] DHF | 4inch - 18,000 6inch - 25,000 8inch - 30,000 |
