모델명 | VisAA |
제조사 | APS System |
용도 | 3파장 (RGB) Laser 를 이용한 박막 열처리 및 activation |
이용수가(원) / 1시간 기준 | |
기본(외부) | 100,000 |
POSTECH(내부) | 90,000 |
CSTC 참여연구실 | 70,000~85,000 |
장비기증 연구실 | 10,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인
-1시간기준,
Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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