모델명 | Wet Station |
제조사 | 두리텍 |
용도 | Acid, Organic 등 Wet 공정 |
제공 Target | overflow Di, SC1,, SC2, HF등 |
이용수가(원) / 1시간 기준 | |
기본(외부) | 50,000 |
POSTECH(내부) | 45,000 |
CSTC 참여연구실 | 35,000~42,500 |
장비기증 연구실 | 5,000 |
-이용료 부과기준: 회/매
- POSTECH 내부 10% 할인, CSTC 참여연구실 15%~30% 할인
-1시간기준,
Center for Semiconductor Technology Convergence, POSTECH
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